用途液晶用蚀刻装置配件
材质
PI(自然级)
尺寸
各种
采用点
耐热性,低排气性,降低成本
用途液晶用蚀刻装置螺栓
用途液晶制造装置的垫片
PI(15%石墨强化级)
耐高温、降低成本
用途液晶制造装置的支架
PEEK 450G(自然级)
耐等离子性、耐热性